从上世纪90年代后期逐步热起来的微电子专业，目前依然热度不减。各大高校顺应微电子产业的发展需要，纷纷成立独立的微电子系和学院，开办了许多与集成电路产业关系密切的二级学院(如北京大学的软件与微电子学院、电子科技大学成都学院等等)。以下将介绍国内数所开设有微电子研招专业的院校，以及它们的研究方向，供参考。

北京大学微电子学系

国家大力支持的重点学科点

北京大学微电子学系，又称微电子学研究所(院)，有着源远流长的学术传统。1956年，由著名物理学家黄昆院士在北大物理系领导创建了我国第一个半导体专业机构，之后在我国著名微电子专家王阳元院士的带领下，北京大学微电子学系发展成为我国培养高水平微电子人才的一个重要基地，是国家的重点学科点。

【硬件环境】

三大重点实验室国内领先

北大微电子学系有着国内一流的科研硬件设施，有微米/纳米加工技术国家级重点实验室、北方微电子研究开发基地新工艺新器件新结构电路国家计委专项实验室、北京市软硬件协同设计高科技实验室三大重点实验室，还有MPW(多项目晶圆)中心平台。

【师资科研】

科研小组特色明显

北大微电子所下设SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可测性、宽禁带、纳太器件等多个研究小组。所长王阳元院士是中国微电子产业的奠基人之一，目前出任中芯国际的董事长。

SOI研究组的研究领域有SOI技术、纳米量级新结构器件及制备工艺技术，以及射频电路技术。黄如教授是北京市优秀教师，目前为IEEE EDS(Electron Device Society)和ADCOM (Administrative Committee)的成员，主要科研方向是SOI，但同时也指导学生进行射频方面的研究。廖怀林教授专门从事RF电路方面的研究，功底深厚。该研究组掌握了国内科研界最先进的加工技术(流片基本上采用0.13微米工艺)，研究生博士生已有多篇文章发表在国际高水平刊物上。

SOC研究组在敦山教授领导下，拥有北京大学-安捷伦科技SOC测试教育中心和北京大学-安捷伦科技SOC测试工程中心两大平台。于老师虽然是研究微处理器，但在系统方面也有很深的造诣。

重视工艺是北大微电子所的传统，所里不少老师是学物理出身的，对于器件工艺十分重视，再加上最先进的微米/纳米加工条件，因此该所的微电子器件加工工艺一直保持着国内领先水平。

新器件组在刘晓彦、康晋锋两位教授的带领下，主要进行新型半导体器件结构、材料、工艺、模型、模拟等方面的研究。他们成功研制了多种新结构半导体器件，在超精细栅、新型金属栅和高K栅介质结构、制备工艺、可靠性、高速互联方面都取得了一系列创新成果。在器件的模型、蒙特卡罗模拟以及新型存储器方面的研究都堪称一流。

MPW是近两年新成立的一个研究组，是依托北大微电学研究院的技术力量建立的一个服务于各高校、科研、企业的平台，目前由盛世敏教授和张钢刚教授指导学生开展工作。盛教授是当年王院士的同事，也是北大微电子所的奠基人之一。MPW组的研究生，有从事数电、模电工作的，也有从事ADC、提取参数、建立模型库方面工作的。

MEMS组是目前北大微电子所里规模最大的一个组，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流体芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向。北大MEMS组的加工工艺在国内高校领先，组内的李志宏教授、张大成教授等多位老师对工艺有很深的研究。李志宏教授是MEMS研究所所长，在RFMEMS和微流体芯片方面都有研究；闫桂珍教授是国内MEMS陀螺研究方面的权威；张大成教授对微电子IC工艺和MEMS工艺都有丰富的实践经验，同时也是微米/纳米加工实验室的负责人。该组的“基于MEMS 技术及应用研究”曾获得2006年度国家技术发明二等奖，是北京大学第一次以“第一完成人单位”获得的国家技术发明二等奖。

【招生信息】

北大微电子学专业2007年招收硕士生105人，其中校本部25人，深圳研究生院80人。从今年开始，没有达到微电子专业分数线的考生，只要过了北大研考理学类总分数线的都可以转报微电子工程硕士，工程硕士招生总人数为100人。

清华大学微电子所

全国微电子学领域首个重点学科点

清华大学微电子学研究所成立于1980年9月，第一任所长由全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚担任。该所是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的主要组成单位，是高素质微纳电子科技人才的培养基地，1988年被定为全国微电子学领域第一个重点学科点。

【硬件环境】两条集成电路工艺加工线

清华大学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备的MEMS加工技术与设备，主要用于加工与MEMS器件相关的项目流片。另外还有一条集成电路开发与工业性试验线，主要进行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其他特殊用途的硅集成电路的研究开发，并且可以提供MOSMPW(MOS多项目晶圆)服务。

【师资科研】器件和设计实力最强

清华大学微电子所主要分器件、工艺、设计和CAD四个研究方向。在这四个研究领域中，该所器件和设计实力最强，研究资金丰厚。

器件方向，主要强在理论，其研究方向包括新器件结构与模型、新材料与工艺、新概念与原理，其特点在于新材料和新器件方向结合、LIGA技术与传统IC方向结合、微纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合。微纳器件与系统研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋电子学和微纳电子技术新材料等。在MEMS研究方面，器件组是国内惟一重复出当年的静电微马达的科研单位。

工艺方向，包括了研究传统的CMOS工艺技术以及一些新型的工艺技术如数模混合工艺等等。其中的集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任主任，该组的主要研究方向是：深亚微米集成电路制造、SiGe技术、非挥发性存储技术、POWER器件及集成电路，以及集成电路生产自动化控制等。

设计方向更偏向于工程。在各大高校中，清华的电路设计是一流的，与各大公司、研究所以及国内外foundry都有较多的合作，研究课题涉及数字多媒体、神经网络及模糊电路、高层次综合技术(原大唐总裁魏少军在这个方向为北大清华的研究生开有任选课)、IC测试、多媒体VLSI、加密电路及CPU等等。集成电路与系统设计研究室由王志华教授领导，研究领域为集成电路与系统设计方法学、模拟和射频集成电路设计、通讯集成电路设计和高速实时信号处理。

CAD技术研究室的主任为王燕教授，该组的主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结构和理论分析、微/纳米级器件的CAD软件研究、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存储器类的IP核开发、射频(RF)电路版图设计的电路提取和验证，以及集成电路制造的计算机辅助管理系统(IC-CAM系统)研发等。

【招生信息】

清华研究生微电子所难考的原因，在于他接收的考试生比较少(2007年仅招10人)，而保送生为30～40人。清华大学在深圳也设有研究生院，但是一般只培养工程硕士(专业硕士的一种)。微电子所2007年在北京、深圳两地招收工程硕士人数总共为74名。

中科院微电子所、微系统所和半导体所

以研究员为科研主力

中科院和微电子领域关系最密切的研究所有3个：微电子所、半导体所和微系统所，这3个所的师资、资金实力在国内同行中处于领先水平。

微电子所 核心设备国内一流

中科院微电子所的核心设备是一流的，它有一条用于0.8微米IC工艺研究的实验线，“高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”为国家“863”集成电路装备重大专项；微细加工与纳米技术实验室装备了分辨率30nm的JEOL JBX-5000LS电子束光刻系统，分辨率0.35u的MEBES 4500电子束制版系统以及和微细加工有关的反应离子刻蚀机、电子束镀膜系统、光学制版系统、LPCVD以及JBX-6A2电子束制版系统。在北京地区，目前惟一能做电子束光刻的科研单位就是微电子所。

该所目前共有7个研究室，分别为硅器件与集成技术、专用集成电路与系统、微细加工与纳米技术、微波器件与集成电路、通讯与多媒体SOC、电子系统技术和总体电子设计平台与共性技术。各个研究室的研究方向基本涵盖了器件电路设计开发的各块领域，互补而又不冲突，相互之间的师资分配也很合理。

【招生信息】

微电子所2007年计划招生43人。据相关老师介绍，2008年微电子所要争取硕士招生人数达到60人。

微系统所

两室五组，科研领域广

中科院微系统所拥有：传感技术国家重点联合实验室与微系统技术国家级重点实验